PlasmaFlo氣體流量混合器

Plasmaflo氣體流量混合器是可選配件

可用于任何與等離子清洗機模型結合，有利于氣體混合，氣體的流量和真空壓力監測更精確的定量控制。

PlasmaFlo 氣體流量混合器特征：

（PDC-FMG (115V); PDC-FMG-2 (230V)）

• 兩種工藝氣體比例混合控制流量，也可獨立控制兩種工藝氣體的流量的雙過程流量計
• 常壓下zui大49mL/min 的流量
• 精度± 2%
• 熱電偶真空計，數值顯示（范圍1 to 1999 mTorr）
• 重量：7 lbs
• 尺寸：8.5" H x 10" W x 8" D

* zui大流量隨工藝氣體和調節壓力變化。流量計可用于常見的工藝氣體（空氣，氬氣，氮氣，氧氣）。

氣體流量混合器其他工藝氣體請咨詢 German First-Nano System （HK）Limited

參考客戶：

       蘭州大學  鄭州大學 上海交通大學 上海復旦大學 合肥工業大學 成都電子科技大學 北京大學  清華大學醫工所  蘭州化物所 中科院納米所 等等

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