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        • NLD-3000原子層沉積系統
          NLD-3000原子層沉積系統

          NLD-3000原子層沉積系統:ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續以及無孔的特性,可以提供的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現到大基片上。

          更新時間:2023-02-17型號:瀏覽量:1060
        • NLD-4000(ICPA)全自動PEALD系統
          NLD-4000(ICPA)全自動PEALD系統

          NLD-4000(ICPA)全自動PEALD系統:ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續以及無孔的特性,可以提供的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現到大基片上。

          更新時間:2017-03-03型號:瀏覽量:890
        • NLD-4000NLD-4000(ICPM)PEALD系統
          NLD-4000NLD-4000(ICPM)PEALD系統

          NLD-4000NLD-4000(ICPM)PEALD系統:ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續以及無孔的特性,可以提供的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現到大基片上。

          更新時間:2017-03-03型號:瀏覽量:777
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