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        • AT-410原子層沉積系統
          AT-410原子層沉積系統

          AT-400原子層沉積系統高縱橫比沉積,具有良好的共形性;曝光控制,用于在 3D 結構上實現所需的共形性;預置有經驗證過的 3D 和 2D 沉積的優化配方;簡單便捷的系統維護及安全聯鎖;目前市面上占地小,可兼容各類潔凈室要求的系統;

          更新時間:2023-02-17型號:AT-410瀏覽量:1368
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